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AS3601像素固晶機

三臂交替固晶,提升固晶效率,固晶視覺一次完成RGB三個晶圓拍照定位,減少固晶平臺移動次數。

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產品介紹

專利技術  行業首創

定義行業新名詞

一次定位 三色固晶

一拍三固,移動路徑更短,一致性更好


336.png


自動換環   自動校正 運動飛拍


序號

模塊

項目

參數

1

系統性能

貼合精度

位置精度:<±15 um

角度誤差:< 3o

生產周期

60ms;  60K/H @1.0 pitch

2

固晶工作臺

固晶范圍

160 mm * 320 mm

最大基板厚度

12mm

3

晶圓工作臺

晶片大小

3*5 mil ~ 20*20 mil

晶圓環

36個晶圓環/6 寸(標準)

其他尺寸(定制)

4

吸晶擺臂

擺臂

180°旋轉固晶

固晶壓力

20~250 克(可調)

5

體積

機臺尺寸(mm)

L1660 * W1200 * H1800 


特點:

1.   雙臂交替固晶,提升固晶效率;  

2.   六個晶圓環,可一次裝夾實現RGB混打;

3.   支持單機多環和多機多環聯合混打功能;

4.   采用大理石機臺具有更高的穩定性;  

5.   采用直線電機模組具有更高的耐用性;

6.   具備真空漏晶檢測和吸嘴清洗設計;

7.   真空固晶平臺和表面平整度修正設計;

8.   并聯式連線,實現后進后出自動上下板;

9.   取晶平臺可選配晶圓環自動校正;

10.   可選配飛拍、校正,提升固晶效率;

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